円度測定ユニット、C-じく

えんどごさ(µm+µm/mm高さを測る)**

0.02+ 0.0005

えんどごさ(µm+µm/mm高さを測る)*

0.01+ 0.00025

じくほうこうしんどう(µm+µm/mm meas. radius)**

0.04 + 0.0002

じくほうこうしんどう(µm+µm/mm meas. radius)*

0.02 + 0.0001

ちょうしんレベリングテーブル

手動く/自動

テーブル直径(mm)

285

テーブル荷重、 へんしんなし(N)

600

かいてんそくど(rpm) 50 Hz/60 Hz

1to15

垂直直線測定ユニット、Z軸

位置決めストローク(mm)

-

モータ駆動測定長さ（mm）

350/500

ちょくせんどごさ/100 mm長さを測る(µm)**

0.15

直線度誤差/フルストローク長さ（µm）**

0.3/0.4

平行度誤差Z/C軸、測定ヘッド走査方向に沿って（µm-mm)

0.5/350

0.8/500

測定速度（mm/s）

<0.1to10

位置決め速度（mm/s）

<0.5to100

水平直線測定ユニット、X軸

位置合わせストローク（mm）

-

モータ駆動測定長さ（mm）

180/280

ちょくせんどごさ/100 mm長さを測る(µm)**

0.4/0.8

直線度誤差/フルストローク長さ（µm）**

0.8/180

0.8/280

垂直度X/C軸(µm)

1/180

2/280

位置決め速度（mm/s）

<0.5to30

そくていそくど

<0.5to10